分析標準氣體的方法很多，但常用的主要有：氣相色譜法、化學發光法、非色散紅外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。

氣相色譜

氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機氣體，甲烷、乙烷、丙烯、及C3以上的絕大部分有機氣體的分析。通過直接法、濃縮法、反應法等樣品處理技術的應用，分析的含量范圍為10-9~99.999%。所以，氣相色譜法也是分析標準氣體中應用多、普遍的方法。

化學發光法

化學發光法是利用某些化學反應所產生的發光現象對組分進行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡單方便、快速等特點。因些，適用于硫化物、氮氧化物、氨等標準氣體的分析。

非色散紅外分析法

非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測器測量混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等組分的含量。非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測器、放大器及數據顯示裝置組成。

微量氧分析儀

在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體（高純氧除外）中都要求準確測定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的氧，準確測定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點之一。隨著氣體工業和儀器工業技術的不斷進步，國內外分析儀器廠家已生產出不同原理的微量氧分析儀